本装置は、20um〜500um程度の平面性（フラットネス）を、一目で判別することが可能な
  加工品における数十um〜数百umの平面性の効率的な判定は、重要な要素でありながら、
  非常に困難な状況でした。
	
  触針式による手法では、対象物全面の計測には多くの時間が必要となり、効率的ではなく、
  干渉計による手法では、感度が高すぎることから数十umの範囲の凹凸の計測は困難です。
	
  本装置では、モアレ法を用いてそれらの問題点を解決しました。小領域だけではなく、
  数百mm角の大領域まで一目でその平面性を判定することが可能となりました。